利用電子、光子、離子、原子、強(qiáng)電場(chǎng)、熱能等與固體表面的相互作用,測(cè)量從表面散射或發(fā)射的電子、光子、離子、原子、分子的能譜、光譜、質(zhì)譜、空間分布或衍射圖像,表征材料表面微觀形貌、表面粗糙度、表面微區(qū)成分、表面組織結(jié)構(gòu)、表面相結(jié)構(gòu)、表面鍍層結(jié)構(gòu)及成分等相關(guān)參數(shù)。
材料、電子、汽車(chē)、航空、機(jī)械加工、半導(dǎo)體制造、陶瓷品、化學(xué)、醫(yī)學(xué)、生物、冶金、地質(zhì)學(xué)等。